Радіовимірювальний перетворювач тиску з MEMS чутливим елементом
Ключові слова:
радіовимірювальний перетворювач тиску, від'ємний опір, частотний вихідний сигнал, MEMS сенсорАнотація
У даній роботі представлені дослідження радіовимірювального перетворювача тиску на основі реактивних властивостей біполярних транзисторів з чутливим MEMS елементом. Отримано аналітичні залежності функції перетворення й рівняння чутливості. Теоретичні й експериментальні дослідження показали, що чутливість розробленого радіовимірювального перетворювача тиску становить 650 Гц/кПа.
##submission.downloads##
Опубліковано
28.05.2016
Номер
Розділ
Секція 1 Інформаційні технології в технічних, системах спеціального призначення, соціумі, освіті, медицині, економіці, управлінні, екології та юриспруденції